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任重道远 十年磨剑 中国“芯”力量 国产光刻机简介

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2002年成立,从零开始攻坚,2009年10月第一台自主研发90nm光刻机投入市场,目前已形成四大类光刻机,这就是中国“芯”力量。但这条路还很遥远,我们还需要更加努力才能缩小与西方、日本的差距。(目前全球四家光刻机厂商是荷兰ASML、日本尼康、日本佳能、中国上微) LSMT技术论坛的秒拍视频收起全文d

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