【SMT技术网】任重道远 十年磨剑 中国“芯”力量 国产光刻机简介TqrSMT技术网-China表面贴装技术-SMT表面贴装-SMT技术网【官网】
2002年成立，从零开始攻坚，2009年10月第一台自主研发90nm光刻机投入市场，目前已形成四大类光刻机，这就是中国“芯”力量。但这条路还很遥远，我们还需要更加努力才能缩小与西方、日本的差距。（目前全球四家光刻机厂商是荷兰ASML、日本尼康、日本佳能、中国上微） LSMT技术论坛的秒拍视频收起全文d